MEMS ReliabilityAllyson L. Hartzell, Mark G. da Silva og 1 annenPocketEngelskDel av serien MEMS Reference ShelfLegg i handlekurvNettlager
MEMS ReliabilityAllyson L. Hartzell, Mark G. da Silva og 1 annenInnbundetEngelskDel av serien MEMS Reference ShelfLegg i handlekurvNettlager
Multi-Wafer Rotating MEMS MachinesJeffrey LangInnbundetEngelskDel av serien MEMS Reference ShelfLegg i handlekurvNettlager